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    標題 2022 年國內晶圓生產線招標：國產設備已達 30% 前景廣闊
    分類 熱點事件
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    近年來，在市場、國家戰略、產業自主可控等多重因素的驅動下，中國大陸晶圓制造及其配套設備環節正加速發展。隨著中國大陸晶圓產能的持續擴張，有望持續拉動上游配套半導體設備的市場需求。

    內資晶圓產線產能距離規劃仍有較大的提升空間，國產半導體設備的訂單增量前景廣闊。當前半導體設備國產化率仍處于非線性提升區間，國產替代驅動的份額提升，將為行業貢獻可觀的成長速度和空間。

    隨著細分品類的市場份額提升，以及產品品類的多元擴張，未來，國產半導體設備公司的成長邊界有望不斷拓寬。

    近日，廣發證券在一份題為《半導體設備行業—— 2022 年招標量規模顯著，國產替代穩步推進》的研報當中，整理了 2022 年國內晶圓廠的公開招標項目，以及相關半導體設備廠商的中標情況。

    2022 年招標量規模顯著，以積塔、華虹、燕東招標為主。

    2022 年，統計樣本中的晶圓產線合計招標 1060 項，其中，積塔、華虹、燕東的設備招標量位居前三。

    整體而言，招標以量測設備、沉積類設備和刻蝕設備為主。

    其中，2022 年，積塔合計招標 502 項，以量測、沉積類、刻蝕設備居多；華虹合計招標 263 項，以量測、檢測、熱處理設備居多；中芯合計招標 148 項基建項目；長鑫合計招標 12 項基建項目。

    中標方面，2022 年，統計樣本中的晶圓產線合計中標 1040 臺設備，以量測、沉積類、熱處理設備居多；國產設備整體中標比例約 30%，其中，硅片再生、氣液系統、去膠、濕法腐蝕、PVD 設備的國產中標比例較高。

    2022 年，國內半導體設備廠商合計中標 231 臺設備，北方華創、創微微電子、中微公司、萬業企業中標量領先，分別中標 64 臺、28 臺、22 臺、21 臺設備。

    2022 年，國內半導體設備廠商合計中標量在對應工藝環節的中標比例為 26%。

    其中，盛美上海的硅片再生設備、北方華創的 PVD 設備和氧化設備、創微微電子的濕法腐蝕設備在對應工藝環節的中標比例領先，分別為 67%、50%、50%、47%。

    一、晶圓擴產與國產替代驅動，份額提升貢獻主要增量

    根據 IC Insights 的數據，2021 年，全球晶圓產能約 2160 萬片 / 月（8 寸約當），同比增長 3.78%，中國大陸晶圓產能 350 萬片 / 月（8 寸約當），同比增長 9.92%，在全球的占比約 16.2%。

    根據 SIA 的數據，伴隨著中國大陸晶圓產能的持續快速擴張，2030 年，大陸晶圓產能在全球的占比有望達 24%，屆時將成為全球最大的晶圓產能區域市場。

    中國大陸晶圓產能的持續擴張，有望持續拉動上游配套半導體設備的市場需求。半導體設備市場空間廣闊。

    2019 年 -2021 年，受到下游應用需求的驅動以及疫情對行業供需關系的影響，全球半導體設備市場經歷了一輪高景氣周期。

    2022 年，半導體設備市場規模有望再創新高。

    根據 SEMI 的數據，2022 年，全球半導體設備銷售額有望達 1143.4 億美元，同比增長 11.24%，以 2021 年中國市場的占比測算，預估 2022 年中國半導體設備市場規模有望達 329.48 億美元，同比增長 11.24%。

    63c96dbc8e9f0922835fd826_10242325.jpg半導體設備公司的增量將更多地來源于市場份額的提升。

    在半導體設備整體市場規模保持穩定的過程中，產業鏈公司的增量將更多地來源于市場份額的提升。

    我們認為，市場份額的提升主要由三個因素驅動：產品的競爭力、所處細分市場的份額或空間、品類擴張能力。

    其中，產品的競爭力是公司立足于市場獲取份額的基礎，所處市場的份額或空間將決定公司高速成長的持續性，而品類擴張能力能夠持續拓展公司的成長邊界。

    63c96dbc8e9f0922835fd827_10242325.jpg在市場、國家戰略、產業自主可控等多重因素的驅動下，中國大陸晶圓制造及其配套設備環節的加速發展勢在必行。

    中國大陸是全球最大的電子終端消費市場和半導體銷售市場，吸引著全球半導體產業向大陸的遷移。

    從產業鏈配套層面來看，在中游晶圓制造環節，中國具備成為全球最大晶圓產能基地的潛力。

    特別是在中國打造制造強國的戰略下，政府在產業政策、稅收、人才培養等方面大力支持和推進本土半導體制造的規?；透叨嘶?。

    近年來，中美貿易摩擦凸顯出供應鏈安全和自主可控的重要性和急迫性，晶圓制造及其配套設備等產業環節作為半導體產業的基石，加速發展勢在必行。

    63c96dbc8e9f0922835fd828_10242325.jpg中國大陸晶圓產能的持續擴張，有望持續拉動上游配套半導體設備的市場需求。

    63c96dbc8e9f0922835fd829_10242325.jpg63c96dbc8e9f0922835fd82a_10242325.jpg63c96dbc8e9f0922835fd82b_10242325.jpg內資晶圓產線產能距離規劃仍有較大的提升空間，國產半導體設備的訂單增量前景廣闊。

    目前，內資晶圓產線仍然是國產半導體設備的消費主力，從遠期內資晶圓產線的建設情況來看，國產半導體設備的需求前景更為樂觀。

    根據各公司官網的不完全統計，目前，內資晶圓產線的總產能約為 162.5 萬片 / 月（8 寸約當），而各條產線的規劃總產能約為 454.5 萬片 / 月（8 寸約當），現有產能距規劃產能仍有較大的擴充空間，因此，內資晶圓產能的大幅擴張，有望為國產半導體設備公司帶來廣闊的訂單增量。

    63c96dbc8e9f0922835fd82c_10242325.jpg當前半導體設備國產化率仍處于非線性提升區間，國產替代驅動的份額提升，將為行業貢獻可觀的成長速度和空間。

    對于國產半導體設備廠商而言，其驅動力除了行業規模的自然擴張，還包括在國內市場的國產替代。

    根據中國電子專用設備工業協會的數據，2021 年，國產半導體設備銷售額為 385.5 億元，同比增長 58.71%，占中國大陸半導體設備銷售額的比例為 20.02%。

    63c96dbc8e9f0922835fd82d_10242325.jpg以半導體晶圓制造設備為例，當前的國產設備對 28nm 及以上制程的工藝覆蓋度日趨完善，并積極推進 14nm 及以下制程的工藝突破，產品正處于驗證密集通過、開啟規?；鹆康某砷L階段。

    并且，各大半導體設備廠商基于產品上線量產的契機，也在與客戶密切開展工藝設備的合作研發、已有產品的迭代和細分新品類的擴充，利于產品競爭力和市場拓展的繼續深入。

    所以，我們認為目前的半導體設備國產化率仍處于非線性增長區間，未來國產設備有望加速滲透。

    假設 2025 年，該統計口徑下的中國大陸半導體設備市場的國產化率提升至 50%，則 2021-2025 年，國產半導體設備銷售額的 CAGR 近 30%。

    并且，對于 65-40nm 等國內配套較成熟的制程，本土半導體設備供應商的單一供應比例最高已達 80%，足見設備國產化有較高的成長空間。

    豐富的半導體工序催生出眾多的半導體設備類型，從硅片制造、芯片設計、晶圓制造、封裝和測試，配套的半導體設備品類多元，各個領域間具備較高的技術和市場壁壘。

    63c96dbc8e9f0922835fd82e_10242325.jpg布局刻蝕、沉積等大賽道的設備廠商，具備更為廣闊的收入空間。

    通過對半導體設備市場競爭格局的分析可知，營收在百億美金量級的龍頭公司，其業務結構基本覆蓋了半導體設備細分市場規模前三大的品類：刻蝕、光刻和沉積。

    鑒于此，對于本土半導體設備廠商而言，在刻蝕和沉積等 " 大賽道 " 深入布局的公司，具備更為廣闊的遠期收入空間，未來的發展前景十分廣闊。

    63c96dbc8e9f0922835fd82f_10242325.jpg在各類細分賽道布局領先的設備廠商，有望率先卡位供應鏈優勢位置。

    半導體設備市場細分品類眾多，目前，本土半導體設備產業仍處于成長早期，在各個 " 細分賽道 " 率先卡位并建立競爭優勢的設備廠商，有望在下游客戶端搶占更優勢的生態位——包括先發的研發驗證機會、領先的供應份額以及積累更豐富的量產經驗，從而在細分品類中建立起更高的競爭壁壘。

    在工藝技術方面，目前，國產半導體設備廠商在刻蝕、沉積、清洗、涂膠顯影、CMP、離子注入以及測試機、分選機、探針臺等核心工藝環節已取得長足進步，并且與海外傳統廠商形成了初步的技術對標。

    63c96dbc8e9f0922835fd830_10242325.jpg具體到產品方面，在前道領域，28nm 及以上的制程范圍，國產半導體設備廠商實現了工藝、技術和產品的大部分覆蓋；

    在新技術節點上，國產半導體設備廠商配套 14nm 及以下制程的邏輯工藝、128 層 3D NAND 工藝以及 17nm DRAM 工藝開展產品驗證和合作研發。

    同時，以北方華創、中微公司、盛美上海為代表的國產半導體設備公司不斷完善產品的平臺化布局，可服務市場規?？焖贁U張，遠期收入空間不斷打開。

    另一方面，以拓荊科技、華海清科、芯源微、萬業企業等為代表國產半導體設備公司在各自專長的領域內已占據了領先的供應份額，不斷夯實技術和市場壁壘。

    目前，國產半導體設備廠商的產品已在中芯國際、華虹半導體、長江存儲、合肥長鑫等晶圓產線快速起量，市場份額持續提升。

    63c96dbc8e9f0922835fd831_10242325.jpg63c96dbc8e9f0922835fd832_10242326.jpg在后道領域，國產半導體設備廠商在測試機、分選機、探針臺等設備方面的配套較前道更為完善，并且以長川科技、華峰測控為代表的國產半導體設備廠商在 SoC 測試機、存儲測試機、探針臺等高端新品研發和市場拓展也快速推進，整體已在后道設備市場具備一定的市場份額優勢。

    63c96dbc8e9f0922835fd833_10242326.jpg根據國產半導體設備公司 2021 年的收入測算，目前，國產半導體設備在清洗、CMP、刻蝕、測試機、分選機等設備市場的國產化率已突破雙位數，而在沉積、離子注入、探針臺等領域也取得一定的國產化突破。

    整體而言，隨著細分品類的市場份額提升，以及產品品類的多元擴張，未來，國產半導體設備公司的成長邊界有望不斷拓寬。

    63c96dbc8e9f0922835fd834_10242326.jpg二、2022 年招標量規模顯著，國產替代穩步推進

    我們以國內晶圓產線：中芯、華虹、華力、長存、長鑫、積塔、燕東、晉華、粵芯、新芯、晶合作為統計樣本，對其招標、中標數據進行分析。

    63c96dbc8e9f0922835fd835_10242326.jpg按照圖 15 所示的統計口徑，2022 年 12 月招標以華虹、積塔、中芯、長鑫產線為主，合計產生 97 項招標。

    招標設備方面，整體以量測、沉積類、刻蝕、退火和探針臺設備的招標量居多，其中，量測、沉積類、刻蝕、退火設備主要為積塔特色工藝產線和華虹招標，探針臺設備主要為華虹招標。

    此外，基建項目主要為中芯國際臨港 12 英寸晶圓代工生產線和長鑫 12 英寸存儲器晶圓制造基地二期等招標。

    2022 年 1-12 月，統計樣本中的晶圓產線合計招標 1060 項，其中，積塔、華虹、燕東的設備招標量位居前三。

    63c96dbc8e9f0922835fd836_10242326.jpg2022 年 12 月，積塔特色工藝生產線合計招標 29 項，以沉積類、氣液系統、量測和爐管設備為主。

    2022 年 1-12 月，積塔合計招標 502 項，以量測、沉積類、刻蝕設備居多。

    63c96dbc8e9f0922835fd837_10242326.jpg63c96dbc8e9f0922835fd838_10242326.jpg2022 年 12 月，華虹合計招標 35 項，以量測、探針臺、刻蝕和退火設備為主。

    2022 年 1-12 月，華虹合計招標 263 項，以量測、檢測、熱處理設備居多。

    63c96dbc8e9f0922835fd839_10242326.jpg63c96dbc8e9f0922835fd83a_10242326.jpg2022 年 12 月，中芯包括臨港 12 寸晶圓產線在內合計招標 30 項基建項目。

    2022 年 1-12 月，中芯合計招標 148 項基建項目。

    63c96dbc8e9f0922835fd83b_10242326.jpg2022 年 12 月，長鑫招標 1 項基建項目。

    2022 年 1-12 月，長鑫合計招標 12 項基建項目。

    63c96dbc8e9f0922835fd83c_10242326.jpg中標方面，2022 年 12 月，統計樣本中的晶圓產線上合計中標 118 臺設備，以探針臺、量測、爐管設備居多；國產設備整體中標比例約 38%，以 CVD、清洗、去膠、研磨拋光設備為主。

    2022 年 1-12 月，統計樣本中的晶圓產線合計中標 1040 臺設備，以量測、沉積類、熱處理設備居多；國產設備整體中標比例約 30%，其中，硅片再生、氣液系統、去膠、濕法腐蝕、PVD 設備的國產中標比例較高。

    63c96dbc8e9f0922835fd83d_10242326.jpg63c96dbc8e9f0922835fd83e_10242326.jpg2022 年 12 月，創微微電子、北方華創、上海精測、中科飛測等國內半導體設備廠商合計中標 23 臺設備，在對應工藝環節的中標比例為 44%。

    其中，創微微電子中標 9 臺清洗設備和 4 臺去膠設備，中標量位居 12 月首位，并且在清洗和去膠設備領域的中標比例分別為 100% 和 40%；北方華創中標 5 臺氧化設備，在對應工藝環節的中標比例為 63%；上海精測中標 4 臺量測設備，在量測設備領域中的中標比例為 24%。

    中科飛測中標 1 臺檢測設備，在量測設備領域中的中標比例為 13%。

    63c96dbc8e9f0922835fd83f_10242326.jpg63c96dbc8e9f0922835fd840_10242326.jpg2022 年 1-12 月，國內半導體設備廠商合計中標 231 臺設備，北方華創、創微微電子、中微公司、萬業企業中標量領先，分別中標 64 臺、28 臺、22 臺、21 臺設備。

    其中，北方華創中標以氧化、刻蝕、PVD 設備居多；創微微電子中標以清洗、濕法腐蝕、去膠設備為主；中微公司中標則以刻蝕設備為主；萬業企業中標以刻蝕、沉積、熱處理設備為主。

    2022 年 1-12 月，國內半導體設備廠商合計中標量在對應工藝環節的中標比例為 26%。

    其中，盛美上海的硅片再生設備、北方華創的 PVD 設備和氧化設備、創微微電子的濕法腐蝕設備在對應工藝環節的中標比例領先，分別為 67%、50%、50%、47%。

    63c96dbc8e9f0922835fd841_10242326.jpg63c96dbc8e9f0922835fd842_10242326.jpg     2022 年國內晶圓生產線招標：國產設備已達 30% 前景廣闊 水乳交大雨滂沱融春暖花開32. 孤獨的高山恍如虛懸空中夢里和你一起醒來只有自己星星都到齊了你為何還遲遲不來……騎著駿馬奔跑一定會到達終點只要彼此相愛一定會成為伴侶。在我的精心照料下，媽媽很快就康復了。25.人非圣賢，孰能無過？過而能改，善莫大焉。    孤館度日如年。風露漸變，悄悄至更闌。長天凈，絳河清淺，皓月嬋娟。將村獨歸處，寂寞養殘生。半導體,晶圓,基建,供應鏈,中芯國際In addition, while it is true that many voters change their minds several times before voting, and that some remain undecided until entering the voting booth, this is not true of everyone.
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    更新時間：2025/7/5 10:23:53
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