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    標題 只知道 ASML 光刻機就低估了：它手里還有兩大秘密武器
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    談到ASML，每個人的第一印象都是它是光刻機的領先供應商。

    誠然，在這些年來媒體的科普下，大家對這家荷蘭半導體設備制造商有了廣泛的了解。光刻機在信息時代的發展中發揮了重要作用，也讓大家更加關注ASML作為光刻巨頭的地位。

    但是ASML不僅僅是一個掩模對準器。為了實現芯片的高精度和高產量生產，除了光刻機階段，計算光刻和測量也非常重要，這是ASML長期以來一直專注的領域。

    正是這種‘鐵三角’結合的全方位光刻解決方案，給了光刻巨頭們面對未來芯片制造需求的信心。

    眾所周知的掩模對準器

    首先，讓我們談談光刻機，最知名的ASML。要了解光刻機的重要性，首先要了解芯片制造的流程。

    據相關數據顯示，一個芯片從設計到量產可能需要幾個月的時間，涉及上百道工序。在這個過程中，掩模對準器的作用是在晶片上“雕刻”不同的圖案。這些垂直連接的圖案的層數最多，甚至超過100層，這使得參與‘雕刻’的掩模對準器的精度變得極其重要。

    為了在晶片上雕刻出線寬越來越小的電路，ASML在過去幾十年里一直在挑戰瑞利判據(——)的極限，降低入射光源的波長，增加數值孔徑。它還推動他們從g-line光刻機到DUV光刻機，再到現在的EUV光刻機時代。

    在這一過程中，ASML與其合作伙伴攜手合作，打破常規，如浸沒式掩模對準器的出現和雙晶片工作平臺操作系統TWINSCAN的創新。他們在光刻機臺上的很多創新都是為了‘雕刻’出更薄更寬的芯片，同時保證自己的產能，降低芯片的制造成本。

    值得一提的是，DUV(深紫外)系統是行業中的‘主力軍’，可以提供浸沒式光刻和干式光刻解決方案，幫助制造不同半導體節點和技術的芯片。同時，ASML也在通過與中國客戶的合作，擴大這種設備的制造能力。

    好“守護神”，計算光刻

    對于芯片設備供應商來說，能夠制造芯片是重要的一步，但如何更快更好地制造芯片是決定一款設備能否被業界認可的關鍵，這也是ASML一直追求的目標。不僅如此，這也是為什么在專注于掩模光刻機站的同時，同時推動計算光刻和測量技術的原因。

    計算光刻也是EDA的一部分。具體而言，它通過計算機模擬和仿真光刻中的光學和化學過程來預測晶片上的曝光圖案，并在半導體制造工藝的開發階段提供光源優化、掩模圖案校正、缺陷預測和校正方案分析，以通過增加芯片制造的工藝窗口來提高產品良率和生產效率。

    當芯片的臨界尺寸小于光源的波長時，就需要復雜的掩模，沒有計算光刻很難實現如此復雜的掩模設計?？梢哉f，沒有計算光刻就沒有最先進的芯片制造。在計算光刻領域，ASML專注于開發能夠準確預測芯片圖案轉移過程的計算光刻模型，并基于該模型提供光源優化和掩模版圖案校正的最佳解決方案。

    我們知道，現在的先進芯片都有幾十億甚至幾百億的晶體管，所以仿真模型的計算量很快就會變得非常巨大。然而，得益于ASML過去積累的豐富數據和經驗，以及該公司對機器學習工具的投資，ASML的計算光刻軟件可以巧妙地找到許多問題的解決方案。

    值得一提的是，ASML在中國建立了強大的計算光刻軟件團隊，該公司繼續在中國增加對該業務的投資33，354，建設新的武漢R&D中心，并擴建近20年的深圳R&D中心，以開發適合中國市場的新的計算光刻產品。

    此舉的目的是實現行業領先的p

    芯片\'質量控制器\'，測量和測試

    與計算光刻一樣，計量和檢測也是ASML為確保芯片產量而做出的投入之一。

    熟悉現代芯片制造工藝的讀者應該知道，在使用光刻機生產芯片時，芯片制造商會先在晶圓上制作電路圖形，然后借助先進的測量系統和軟件檢查這些圖形，從而提高芯片生產的精度和良率，同時幫助客戶為后續的工藝開發做好準備。

    作為全球最大的光刻機供應商，ASML在提供這類產品方面也有先天優勢。他們的系統就是在這樣的背景下誕生的。

    ASML主要通過兩種方式測試光刻成像質量：基于衍射的光學測量和電子束測量。其中光學測量是基于晶圓反射光的衍射效應，而電子束測量是通過觀察電子接觸晶圓時的散射來實現的。

    他們在這兩方面都有布局。

    ASML的YieldStar光學測量解決方案是一種重要的在線晶圓測量工具，可以快速準確地測量晶圓上的圖像質量。

    此外，ASML電子束測量產品可以通過電子束測量和大規模測量幫助客戶確定技術路線圖，包括廣泛使用的單束檢測系統，可以幫助客戶在數百萬個印刷圖形中定位和分析某個芯片缺陷；

    高分辨率電子束測量系統eP5可以提供1納米的分辨率和大視場，大量測量應用的速度是現有技術的10倍以上；

    多束多電子束系統綜合利用了ASML光刻機工作臺、ASML計算光刻和ASML電子束測量的核心技術，可以實現量產檢測所需的電子束分辨率和通量。

    由此可見，ASML不僅僅是光刻機方面的供應商，更是擁有‘鐵三角’全方位光刻解決方案的供應商，可以幫助芯片制造商推動芯片小型化，提高良率和生產率。

    為了幫助您了解芯片制造中的‘鐵三角’原理和‘光’的意義，ASML特別打造了‘追光訓練營’，向您展示全方位光刻解決方案的實力，同時讓您深入體驗，共同感受‘光’的神奇。

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         只知道 ASML 光刻機就低估了：它手里還有兩大秘密武器 威武不屈槍林彈眼高手低雨3. 青春太好以至于做什么事都覺得浪費?！岸乙f：”正因為青春如此好，所以做什么事都不必言悔。如果您能盡早回復，我們將不勝感激。243.君問歸期未有期，巴山夜雨漲秋池。何當共剪西窗燭，卻話巴山夜雨時?！兑褂昙谋薄?nbsp;   落花已作風前舞，又送黃昏雨。曉來庭院半殘紅，惟有游絲，千丈裊晴空。欲把一麾江海去，樂游原上望昭陵。芯片,asml,光刻機,晶圓,供應商However, this is not necessarily the case.
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    更新時間：2025/7/13 21:22:55
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